Buồng đốt của lò đốt chất thải thường được chế tạo từ vật liệu chịu lửa cường độ cao và thép chịu nhiệt độ cao. Buồng đốt cần chịu được quá trình cháy ở nhiệt độ cao kéo dài; do đó, gạch chịu lửa hoặc thép hợp kim nhiệt độ cao được sử dụng để duy trì độ bền kết cấu và ngăn ngừa hiệu quả các vết nứt do giãn nở nhiệt, kéo dài tuổi thọ của thiết bị. Một số thiết bị còn được bổ sung thêm lớp cách nhiệt trên bề mặt buồng đốt để nâng cao hiệu suất tản nhiệt và bảo vệ cấu trúc vỏ bên ngoài.
Hệ thống lọc khí thải và khí thải thường được làm bằng kim loại chống ăn mòn, chẳng hạn như thép không gỉ hoặc thép mạ kẽm. Do khí thải được tạo ra trong quá trình đốt có chứa khí axit, bụi và các chất có hại nên vật liệu của hệ thống xả phải có khả năng chống axit và ăn mòn để tránh lão hóa sớm hoặc hư hỏng đường ống và thiết bị lọc. Ngoài ra, một số thiết bị loại bỏ bụi sử dụng vật liệu chống mài mòn bên trong để cải thiện độ ổn định khi vận hành lâu dài.
Hệ thống phụ trợ và vỏ ngoài thường được làm bằng thép carbon hoặc thép không gỉ, cân bằng độ bền và giá thành. Bên ngoài thiết bị còn được phủ một lớp sơn chống ăn mòn để bảo vệ khỏi mưa, ẩm hoặc ăn mòn trong quá trình vệ sinh. Đối với các bộ phận quan trọng như khóa cửa, van và cửa nạp liệu, vật liệu hợp kim chịu nhiệt và chịu mài mòn thường được sử dụng để đảm bảo thiết bị duy trì độ tin cậy và an toàn trong điều kiện nhiệt độ cao và hoạt động liên tục.